Horiba S600數(shù)字式氣體質(zhì)量流量計

暢銷型號：

S600-BR212、S600-BR222、S600-BM212、S600-BM222、

S600-CR212、S600-CR222、S600-DR212、S600-DR222、

S600-BR2226、S600-CR226、S600-BM212、S600-BM222、

HoribaS600數(shù)字式氣體質(zhì)量流量計，又稱氣體質(zhì)量流量控制器，簡稱MFC。

主要功能是：控制器管路中的流量達(dá)到期望的設(shè)定值，同時反饋實際的流量信號到上位機。

S600-BR222是S600系列中的一款暢銷型號，內(nèi)部核心部件都是Horiba進(jìn)口，在國內(nèi)生產(chǎn)組裝，保證horiba MFC的高穩(wěn)定性，同時降低了客戶成本，匹配國產(chǎn)的價格。

特點：

1、量程滿足0-3sccm；

2、精度可達(dá)0.3%FS(低于30%量程時)

3、核心部件日本進(jìn)口；

4、高穩(wěn)定性。

5、數(shù)字輸出信號：RS485

Horiba S600數(shù)字式氣體質(zhì)量流量計 

品牌介紹

HORIBA集團(tuán)向遍布全球各地的用戶大量提供具有水平的分析儀器系統(tǒng)及系列產(chǎn)品。應(yīng)用范圍從汽車發(fā)動機尾氣排放檢測的研發(fā)到過程及環(huán)境監(jiān)測，體外醫(yī)療檢測，半導(dǎo)體制造和計量，涉及范圍從科技研發(fā)到質(zhì)量控制測量。

實踐證明，的質(zhì)量和值得信賴的性能贏得廣大用戶對HORIBA集團(tuán)品牌的信任。

半導(dǎo)體事業(yè)部以尖銳的目光關(guān)注著半導(dǎo)體、FPD、LED、太陽能、光纖等細(xì)微世界的發(fā)展。由研發(fā)專家展開的研究與開發(fā)以支持半導(dǎo)體制程工藝中對不同流體控制技術(shù)的需求。為滿足不同市場、不同工藝需求，半導(dǎo)體事業(yè)部亦能提供切合客戶需求的不同產(chǎn)品以實現(xiàn)匹配工藝需求。

MFC典型應(yīng)用

HORIBA 可以為您的涂層工藝生產(chǎn)線提供穩(wěn)定的控制，如化學(xué)氣相沉積 (CVD)，原子層沉積 (ALD)，金屬有機化學(xué)氣相沉積 (MOCVD)， PVD (物理氣相沉積)，等離子體增強化學(xué)氣相沉積 (PECVD) 和金剛石沉積或金剛石涂層 (DLC)。我們的產(chǎn)品提供全面的流體控制和過程監(jiān)控，以提高產(chǎn)量，增加吞吐量，并為您的涂層過程提高效。

進(jìn)口數(shù)字型號: SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z534MG、SEC-Z516MG

進(jìn)口低成本數(shù)字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N116MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、SEC-N176MGM。

進(jìn)口低成本模擬型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3、SEC-E40V、SEC-E50V，SEC-E431X、SEC-E441X、SEC-E531、SEC-E541，kolfoc 3760、kofloc 8500，GFC17S、GFC37S、GFC47S、GFC57S、GFC67S、GFC77S，omega FMA1815S、

數(shù)字型：S600-BR212、S600-BR222、S600-BM212、S600-BM222、S600-BR226、S600-BM226、S600-CR212、S600-CR222、S600-CR226、S500-BR212、S500-BM212。

模擬型：Horiba S48-28、horiba S48-32、

Horiba液體流量控制器LV-F20 PO、LV-F30 PO、LV-F30 PO、LV-F40 PO、LV-F50 PO、LV-F60 PO、LV-F20 MO、LV-F40 MO、LV-F60 MO、LF-F20M、LF-F30M、LF-F40M、LF-F50M、LF-F60M

配套的閥門管件：韓國TKF 1/4手動隔膜閥S4DVN-VM-P、1/2手動隔膜閥S8DVN-VM-P、1/4VCR五件套S4SG19-P、S4LG19-P、UN4GT、S4MN、S4FN，

美國Valex不銹鋼管，1/4"EP級不銹鋼管、3/8"EP級不銹鋼管、1/2"EP級不銹鋼管。